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華為/海思半導(dǎo)體特氣項目

合作時間：2013年

預(yù)算金額：390萬元

氣體種類：壓縮干燥空氣（CDA）、高純氮（PN2）、高純氫氣（PH2）、真空（Vac）、氬氣 (Ar) 、氦氣 (He)管道系統(tǒng)；特氣系統(tǒng)包括硅烷（SiH4）、5%硅烷（5%SiH4）、 氨氣（NH?）、氯氣（Cl?）、磷化氫（PH3）、砷化氫(AsH3)、鍺烷(GeH4)、乙硼烷（B2H6）、一氧化二氮（N2O）、四氟化碳（CF4）、三氟甲烷(CHF3)


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